日本球形二氧化硅細(xì)粉的特點(diǎn)
球形二氧化硅粉是指通過火焰和熔融法,VMC法等工藝由不規(guī)則角部硅粉制成的球形二氧化硅粉材料。由于具有高球形度和高純度,產(chǎn)品自始至終堅(jiān)定地保護(hù)了成長中的半導(dǎo)體的可靠性密度和功能越來越高。
Opti Fine Silica 是一種廉價(jià)的亞微米球形二氧化硅細(xì)粉產(chǎn)品,由高純度石英制品的制造過程采用干法生產(chǎn)。
顆粒形狀圓潤細(xì)膩,表面光滑,顆粒之間幾乎沒有聚集,是一種高分散性粉末。
特點(diǎn)
干法制造方法
球形細(xì)顆粒
D50 = 0.2~0.4μm,表面光滑,附著水少
銳利的粒度分布
良好的分散性
便宜的比同等的球形二氧化硅細(xì)顆粒便宜
物品 | 單元 | SR-NP |
---|---|---|
粒徑 (D50) | 微米 | 0.2-0.4 |
比表面積 | 平方米/克 | 約 70.0 |
酸堿度 | 微米 | 3.5-4.5 |
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