簡易微量金屬污染物回收裝置SC-3100介紹

發(fā)布日期：2024-07-04      瀏覽次數(shù)：360

簡易微量金屬污染物回收裝置SC-3100介紹



SC-3100
●連接至PC以創(chuàng)建各種收集模式，并從硅晶片的表面和側(cè)面（斜角部分）收集（樣品）微量金屬污染物。
●設(shè)備安裝方便，不需要太多外部資源，不占用太多空間。
●由于工作是機械完成的，因此不需要操作員技能，任何人都可以輕松取樣。
●由于設(shè)備自動供給取樣化學(xué)品并移動支架，因此與SC-2000相比，可以減少工人造成的污染。

SC-8100
●具有即使在親水狀態(tài)的晶圓上也能收集污染物的功能，并且可以對硅以外的材料制成的晶圓或因體蝕刻等而導(dǎo)致表面變得粗糙的晶圓進行采樣。
●放寬了對晶圓條件和采樣化學(xué)品類型的限制，使得可以回收重金屬以外的離子。
●當(dāng)然，傳統(tǒng)的疏水表面采樣也是可能的。

SC-9100
●具有即使是親水狀態(tài)的晶圓也能捕集污染物的功能，可對硅以外的材料的晶圓或因整體蝕刻等導(dǎo)致表面粗糙的晶圓進行取樣。
●放寬了對晶圓條件和采樣化學(xué)品類型的限制，使得可以回收重金屬以外的離子。
●當(dāng)然，傳統(tǒng)的疏水表面采樣也是可能的。
●由于設(shè)備自動供給取樣化學(xué)品并移動支架，因此與SC-8100相比，可以減少工人造成的污染。




設(shè)備名稱		SC-3100			SC-8100			SC-9100
手術(shù)		電腦 (*3)
安裝/拆卸固定器		自動的			手動的			自動的
供應(yīng)取樣用化學(xué)溶液		自動的			手動的			自動的
化學(xué)溶液取樣采集		自動 (*1)			手動的			自動的
基本采集模式		環(huán)形、扇形、固定、半徑、圓弧
追加收集圖案(*1)		橫向、矩形、弧形
定向平整處理（*2）		添加到環(huán)形、固定半徑、側(cè)面檢索模式
抽吸式液體收集		○			-			○
親水表面的恢復(fù)		-			○			○
外部尺寸（寬x深x高）（毫米）		630×550×600			600×550×700			630×550×790
重量		35公斤			40公斤			50公斤
使用地點		干凈的草案里面
必要的公用事業(yè)		電源（AC100-240V）、 純凈水、潔凈干燥空氣			電源（AC100-240V）、N2、潔凈干燥空氣			電源（AC100-240V）、N2、 純凈水、潔凈干燥空氣