便攜式接觸角測(cè)量?jī)xST-2在半導(dǎo)體行業(yè)的運(yùn)用

發(fā)布日期：2024-10-14      瀏覽次數(shù)：82

便攜式接觸角測(cè)量?jī)xST-2在半導(dǎo)體行業(yè)的運(yùn)用

接觸角是指在液體或氣體中，物體表面與液面之間的交接處形成的角度，當(dāng)物體表面與液體接觸時(shí)，如果物體表面的分子間吸引力大于液體分子間的吸引力，則物體表面會(huì)被液體浸潤(rùn)；反之，如果物體表面的分子間吸引力小于液體分子間的吸引力，則物體表面不會(huì)被液體浸潤(rùn)，在這種情況下，物體表面與液面的交接處形成一個(gè)銳角，稱(chēng)為接觸角，接觸角的大小反映了物體表面與液體之間的相互作用力。

接觸角測(cè)量通常通過(guò)光學(xué)或圖像處理技術(shù)進(jìn)行，其中觀察液滴在固體表面上的形狀，并根據(jù)一定的幾何關(guān)系計(jì)算接觸角。這種測(cè)量不僅在科學(xué)研究中廣泛應(yīng)用，還在工程和制造領(lǐng)域中有著重要的應(yīng)用，例如在設(shè)計(jì)防霧鏡、改善液體流體系統(tǒng)和優(yōu)化材料表面性質(zhì)等方面。




接觸角在科學(xué)和工程領(lǐng)域中的應(yīng)用




接觸角的應(yīng)用非常廣泛，幾乎涉及到我們生活的方方面面。比如我們希望汽車(chē)玻璃上不沾雨水、但反之我們希望汽車(chē)鋼板上的油漆不脫落；比如農(nóng)藥和蔬菜葉面、涂料和內(nèi)外墻面、絕緣油和絕緣材料、納米材料表面改性等等。




晶圓的潔凈度

對(duì)于好的粘接來(lái)說(shuō)，材料表面的潔凈度是至關(guān)重要的。RCA清洗是硅片加工前的標(biāo)準(zhǔn)清洗方法。清洗的目的是清除表面的所有異物，包括灰塵、油、硅塵等。清洗步驟分為兩個(gè)，RCA1和RCA2。RCA1將去除任何有機(jī)污染，而RCA2處理離子和金屬污染。中間通常用稀釋的氟化氫溶液去除氧化薄層。水破裂實(shí)驗(yàn)通常用于檢查清潔程序后的表面狀態(tài)。水接觸角的測(cè)量提供了一種可追溯和定量的方法來(lái)進(jìn)行表征。




表征光刻膠的附著力




適當(dāng)?shù)墓饪棠z附著力對(duì)于成功的光刻工藝是至關(guān)重要的。顯影或刻蝕過(guò)程中的附著力喪失將導(dǎo)致圖案錯(cuò)誤，這對(duì)正在制造的設(shè)備來(lái)說(shuō)是致命的。在光刻膠和硅片之間需要附著力促進(jìn)劑，這一點(diǎn)早已被認(rèn)識(shí)到。在應(yīng)用光阻劑之前，常用的是六甲基二硅氮烷（HMDS）底漆。硅片上的水接觸角通常是相當(dāng)?shù)偷?，因?yàn)楸砻鎻沫h(huán)境濕度中吸附了水。如果在使用光刻膠之前沒(méi)有去除水層，那么在隨后的顯影或化學(xué)刻蝕過(guò)程中，光刻膠有分層的風(fēng)險(xiǎn)。在脫水烘烤后，通常會(huì)涂覆疏水性HMDS涂層，使表面更加疏水而不易吸水。水接觸角的測(cè)量可以用來(lái)尋找最佳的HMDS處理方案，并檢查處理是否成功。




檢查PCB清潔度

除去多余的助焊劑是焊接過(guò)程中的重要部分。這是因?yàn)橐恍┲竸┚哂懈g性，它們的殘留物可能會(huì)繼續(xù)發(fā)揮作用，并在后期損壞電路板。由于助焊劑對(duì)PCB的有害影響，針對(duì)PCB有各種各樣的清潔測(cè)試。這些測(cè)試包括離子色譜、溶劑萃取電阻率（ROSE）測(cè)試、表面絕緣電阻（SIR）測(cè)試和目視測(cè)試。其中ROSE是最常使用的。ROSE測(cè)試的主要優(yōu)點(diǎn)是測(cè)試速度快、價(jià)格低。問(wèn)題是它不能檢測(cè)到所有類(lèi)型的污染，而它能檢測(cè)到的污染是在整個(gè)表面上的平均值。水接觸角的測(cè)量為ROSE測(cè)試提供了一個(gè)很好的替代方案。水接觸角的測(cè)量是通過(guò)在PCB上放置一滴水來(lái)完成的。如果水珠凸起大（即接觸角大），表面不具有保形涂層。如果水?dāng)U散（即接觸角小），則表面沒(méi)有有機(jī)污染物，可以進(jìn)行涂層。接觸角測(cè)量的優(yōu)點(diǎn)是可以在非常小的區(qū)域進(jìn)行。



產(chǎn)品配置：
  標(biāo)準(zhǔn)組件：測(cè)量裝置、橡膠目鏡、AA 電池、使用說(shuō)明書(shū) 可選
  配件：便攜包、校準(zhǔn)工具
  *請(qǐng)單獨(dú)準(zhǔn)備一個(gè)可產(chǎn)生 2μL 液滴的微量移液器。

產(chǎn)品特點(diǎn)：
設(shè)備占地面積最小。無(wú)論板的大小，從小塊到大板。此外，測(cè)量板不需要安裝設(shè)備的整個(gè)表面都是平坦的；可以在凹入或相對(duì)于安裝設(shè)備的表面凹進(jìn)的表面上進(jìn)行測(cè)量。由于光源的電源僅為一節(jié)干電池，因此可用于戶外及任何領(lǐng)域的接觸角測(cè)量。

規(guī)格：


應(yīng)用：
各種形狀和尺寸的樣品
+無(wú)法切割的基板玻璃板
    、車(chē)身、衛(wèi)生潔具
+嵌入式
    培養(yǎng)皿、凹透鏡、衛(wèi)生潔具
+防霧評(píng)估
   鏡片、遮陽(yáng)板、護(hù)目鏡、窗玻璃
清潔和表面改性評(píng)價(jià)
+清洗評(píng)價(jià)
   晶圓、硬盤(pán)、玻璃面板
+表面改性評(píng)價(jià)等
    離子、UV、電暈放電