日本toray氧化鋯式氧氣濃度計(jì)的測(cè)量原理
兩側(cè)帶有電極的氧化鋯陶瓷具有在高溫下使一個(gè)電極上的氧分子電離并在另一電極上使氧離子返回到氧分子的特性。該特性稱(chēng)為離子傳導(dǎo),并且隨著氧化鋯陶瓷的兩側(cè)的氧濃度差的增加,離子傳導(dǎo)的程度增加。在此期間,電子在兩個(gè)電極之間轉(zhuǎn)移,并且可以提取離子傳導(dǎo)程度(=氧化鋯陶瓷兩側(cè)的氧濃度差)作為兩個(gè)電極之間的電動(dòng)勢(shì)大小。如下圖所示,根據(jù)Nernst的理論公式,該電動(dòng)勢(shì)可以獲得穩(wěn)定的值,因此Toray氧化鋯傳感器可以顯示穩(wěn)定可靠的氧氣濃度值。
采用 | 兼容機(jī)型 | 解釋 | 其他選擇 |
半導(dǎo)體,液晶, | MS-500 | 用于安裝在半導(dǎo)體制造設(shè)備等上,多可測(cè)量8個(gè)點(diǎn) |
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| LC-450A | 兼容ppm級(jí)測(cè)量,交流電源類(lèi)型 | · 活性炭過(guò)濾器 · 硅濾光片 · 棉濾芯 |
| LC-450D | 支持ppm階次測(cè)量,直流電源類(lèi)型 |
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| LC-860 | 支持ppb訂單測(cè)量,交流電源類(lèi)型 |
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| SD / LD-450 | 真空室安裝類(lèi)型(用于設(shè)備安裝) | 交流電源單元:DU-450 |