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更新日期:2024-03-17
簡要描述:
日本hrd-thermal測量薄膜和微小區(qū)域熱導率TM3熱物理性質(zhì)顯微鏡是測量熱滲透率的裝置,熱滲透率是熱物理性質(zhì)值之一。它是一種可以通過點,線和表面來測量樣品的熱性能的設備。也可以測量微米級的熱物理性質(zhì)值的分布,這在常規(guī)熱物理性質(zhì)測量設備中被認為是困難的。
日本hrd-thermal測量薄膜和微小區(qū)域熱導率TM3
在樣品上形成金屬薄膜,并用加熱激光器定期加熱。
名稱/產(chǎn)品名稱 | 熱物理顯微鏡/熱顯微鏡 |
測量方式 | 熱物理性質(zhì)分布測量(1維,2維,1點) |
測量項目 | 熱滲透率,(熱擴散率),(熱導率) |
檢測光斑直徑 | 約3μm |
1點測量標準時間 | 10秒 |
待測薄膜 | 厚度幾百納米到幾十微米 |
重復精度 | 耐熱玻璃,硅的熱滲透率小于±10% |
樣品 | 1.樣品架30mm x 30mm厚度5mm
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工作溫度極限 | 24°C±1°C(根據(jù)設備中內(nèi)置的溫度傳感器) |
平臺移動距離 | ? X軸方向20mm |
加熱激光 | 半導體激光波長:808nm |
檢測激光 | 半導體激光波長:658nm |
電源 | 交流100V 1.5kVA |
標準配件 | 樣品架,參考樣品 |
選項 | 光學壓盤,空調(diào),空調(diào)房,飛濺裝置 |